在進行氧含量分析尤其是微量氧分析時，由于空氣中氧含量高達21％O2，故而如果處理不當極易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正確。其主要原因是氧分析儀操作不當造成。以下僅談幾點影響氧分析儀測定的因素。
1．泄(xie)漏。

     氧分析儀在初次啟用前必須嚴格檢漏。氧分析儀只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及氧分析儀內部，從而得出含氧量偏高的結果。
2．污染。

       在重新使用氧分析儀時，首先須注意在連接氧分析儀的取樣管路時是否漏入空氣，并且必須認真將漏入氧分析儀的空氣吹除干凈，盡量不使大量氧氣通過氧分析儀的傳感器以延長傳感器壽命。在管道系統凈化過程中，為縮短凈化時間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進行可迅速凈化氧分析儀管道。
3．管道材質的選擇。

        氧分析儀管道材質及表面粗糙度也將影響樣氣中氧含量的變化。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為連接管路。氧分析儀通常選用銅管或不銹鋼管，對超微量分析(指＜0.1ppm)則必須用拋光過的不銹鋼管。
4．氣路系統的簡化及潔凈。

         氧分(fen)(fen)析(xi)(xi)儀微量(liang)分(fen)(fen)析(xi)(xi)要求(qiu)必須有(you)效排除(chu)氣(qi)(qi)路(lu)上的(de)各種管件，閥(fa)門，表頭等(deng)(deng)(deng)中的(de)死角(jiao)對樣(yang)氣(qi)(qi)造(zao)成(cheng)(cheng)的(de)污染(ran)。因此，應盡可能簡(jian)化氧分(fen)(fen)析(xi)(xi)儀氣(qi)(qi)路(lu)系(xi)統(tong)，選用(yong)(yong)死角(jiao)小的(de)連接件等(deng)(deng)(deng)。并且，避免(mian)使用(yong)(yong)水封，油(you)封及臘(la)封等(deng)(deng)(deng)設備，防止溶(rong)解氧逸(yi)出(chu)造(zao)成(cheng)(cheng)污染(ran)，更需避免(mian)在樣(yang)氣(qi)(qi)引出(chu)至氧分(fen)(fen)析(xi)(xi)儀進口(kou)的(de)管線上增加(jia)易(yi)造(zao)成(cheng)(cheng)污染(ran)的(de)凈化設備等(deng)(deng)(deng)。只有(you)這(zhe)樣(yang)才能保證系(xi)統(tong)潔凈，所(suo)得數據準確。