工業氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)在(zai)國家(jia)標(biao)準《常用危險化(hua)(hua)學(xue)品的分類及標(biao)志》（GB13690-1992）中(zhong)(zhong)，通(tong)常被劃為(wei)第2類壓(ya)縮(suo)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)和(he)液(ye)化(hua)(hua)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)。 這(zhe)類化(hua)(hua)學(xue)品系指壓(ya)縮(suo)、液(ye)化(hua)(hua)或(huo)(huo)加壓(ya)溶(rong)(rong)解的氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)。氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)經加壓(ya)或(huo)(huo)降低溫度，可(ke)以使氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)分子間的距離大(da)大(da)縮(suo)小而(er)被壓(ya)入鋼瓶中(zhong)(zhong)，這(zhe)種氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)稱(cheng)為(wei)壓(ya)縮(suo)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)（亦稱(cheng)為(wei)永久氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)， 如(ru)(ru)氧氣(qi)(qi)(qi)(qi)、氮氣(qi)(qi)(qi)(qi)、氬氣(qi)(qi)(qi)(qi)、氫(qing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)等(deng)）。對(dui)壓(ya)縮(suo)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)繼(ji)續加壓(ya)， 適當降溫，壓(ya)縮(suo)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)就(jiu)會變成液(ye)體(ti)(ti)(ti)的，稱(cheng)為(wei)液(ye)化(hua)(hua)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)（如(ru)(ru)液(ye)氯、 液(ye)氨、液(ye)體(ti)(ti)(ti)二氧化(hua)(hua)碳等(deng)）。此外，還有一(yi)種性(xing)質極為(wei)不穩定(ding)的氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)，加壓(ya)后(hou)需溶(rong)(rong)于溶(rong)(rong)劑中(zhong)(zhong)儲存在(zai)鋼瓶內，這(zhe)種氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)稱(cheng)為(wei)溶(rong)(rong)解氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)（如(ru)(ru)溶(rong)(rong)解乙炔(gui)等(deng)）

   具體來說工業氣體可分為以下14種：

       1. 特種氣體(Specialty gases) ：指那些在特定領域中應用的, 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多, 通常可區分為電子氣體、標準氣、環保氣、醫用氣、焊接氣、殺菌氣等, 廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環境監測、醫學研究及診斷、食品保鮮等領域。

       2、標準氣體(Standard gases) ：標(biao)準氣體屬于(yu)標(biao)準物(wu)質。標(biao)準物(wu)質是高度(du)均勻的(de)、良(liang)好(hao)穩定(ding)(ding)(ding)和(he)(he)量(liang)(liang)(liang)值準確(que)(que)的(de)測(ce)(ce)定(ding)(ding)(ding)標(biao)準, 它們具(ju)有(you)(you)復現、保存和(he)(he)傳遞量(liang)(liang)(liang)值的(de)基本作用(yong)(yong)(yong), 在物(wu)理(li)、化(hua)學、生(sheng)(sheng)物(wu)與工(gong)程測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)領域中(zhong)(zhong)用(yong)(yong)(yong)于(yu)校(xiao)(xiao)(xiao)對( [準測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)儀(yi)(yi)器和(he)(he)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)過程, 評價測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方法的(de)準確(que)(que)度(du)和(he)(he)檢(jian)測(ce)(ce)實(shi)驗室(shi)的(de)檢(jian)測(ce)(ce)能力, 確(que)(que)定(ding)(ding)(ding)材(cai)料(liao)(liao)或(huo)產品(pin)的(de)特性量(liang)(liang)(liang)值, 進(jin)行量(liang)(liang)(liang)值仲(zhong)裁(cai)等。大(da)型(xing)乙烯廠、合成氨廠及其它石化(hua)企(qi)業, 在裝置開車、停車和(he)(he)正常生(sheng)(sheng)產過程中(zhong)(zhong)需要(yao)幾十(shi)種純氣和(he)(he)幾+百種多(duo)組(zu)(zu)分(fen)標(biao)準混合氣, 用(yong)(yong)(yong)來校(xiao)(xiao)(xiao)準、定(ding)(ding)(ding)標(biao)生(sheng)(sheng)產過程中(zhong)(zhong)使用(yong)(yong)(yong)的(de)在線分(fen)析(xi)儀(yi)(yi)器和(he)(he)分(fen)析(xi)原料(liao)(liao)及產品(pin)質量(liang)(liang)(liang)的(de)儀(yi)(yi)器。標(biao)準氣還(huan)可(ke)(ke)用(yong)(yong)(yong)于(yu)環境監測(ce)(ce), 有(you)(you)毒的(de)有(you)(you)機物(wu)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang), 汽車排放(fang)氣測(ce)(ce)試, 天然(ran)氣BTU 測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang), 液化(hua)石油氣校(xiao)(xiao)(xiao)正標(biao)準, 超臨界流體工(gong)藝(yi)等。標(biao)準氣視氣體組(zu)(zu)分(fen)數區(qu)分(fen)為二元、三元和(he)(he)多(duo)元標(biao)準氣體; 配(pei)氣準度(du)要(yao)求以配(pei)氣允(yun)差和(he)(he)分(fen)析(xi)允(yun)差來表(biao)征。組(zu)(zu)分(fen)的(de)最(zui)低濃度(du)為10- 6級(ji), 組(zu)(zu)分(fen)數可(ke)(ke)多(duo)達(da)20余(yu)種配(pei)制方法可(ke)(ke)采用(yong)(yong)(yong)重(zhong)量(liang)(liang)(liang)法, 然(ran)后用(yong)(yong)(yong)色譜分(fen)析(xi)校(xiao)(xiao)(xiao)核, 也可(ke)(ke)按標(biao)準傳遞程序進(jin)行傳遞。

       3、 電子氣體(Electronic gases) ：半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級、LSI(大規模集成電路) 級、VLSI (超大規模集成電路) 級和ULSI (特大規模集成電路)級。

       4. 外延氣體(Cpitaxial gases) ：在仔細選擇的襯底上采用化學氣相淀積(CVD) 的方法生長一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體。硅外延氣體有4 種, 即硅烷、二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅, 主要用于外延硅淀積, 多晶硅淀積, 淀積氧化硅膜, 淀積氮化硅膜, 太陽電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。

       5. 蝕刻氣體(Etching gases) ：蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金屬膜等蝕刻掉, 而使有光刻膠掩蔽的區域保存下來, 這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形。蝕刻的基本要求是, 圖形邊緣整齊, 線條清晰, 圖形變換差小, 且對光刻膠膜及其掩蔽保護的表面無損傷和鉆蝕。蝕刻方式有濕法化學蝕刻和干法化學蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蝕刻由于蝕刻方向性強、工藝控制精確、方便、無脫膠現象、無基片損傷和沾污, 所以其應用范圍日益廣泛。

       6. 摻雜氣體(Dopant Gases)：在半(ban)導體(ti)(ti)器(qi)件和(he)(he)(he)集成電(dian)路制造(zao)中(zhong), 將某種或某些雜(za)(za)質摻入(ru)半(ban)導體(ti)(ti)材料(liao)內, 以使材料(liao)具有所需(xu)要的(de)(de)導電(dian)類型和(he)(he)(he)一定的(de)(de)電(dian)阻率, 用(yong)來(lai)制造(zao)PN結(jie)、電(dian)阻、埋層等。摻雜(za)(za)工(gong)藝所用(yong)的(de)(de)氣(qi)體(ti)(ti)摻雜(za)(za)源(yuan)被稱為摻雜(za)(za)氣(qi)體(ti)(ti)。主要包括砷烷(wan)、磷烷(wan)、三氟化(hua)磷、五氟化(hua)磷、三氟化(hua)砷、五氟化(hua)砷、三氯化(hua)硼(peng)和(he)(he)(he)乙硼(peng)烷(wan)等。通(tong)常將摻雜(za)(za)源(yuan)與(yu)(yu)運載氣(qi)體(ti)(ti)(如氬氣(qi)和(he)(he)(he)氮氣(qi)) 在源(yuan)柜中(zhong)混合, 混合后(hou)氣(qi)流連續流入(ru)擴(kuo)散爐內環繞晶片四周, 在晶片表面沉積(ji)上化(hua)合物摻雜(za)(za)劑, 進而與(yu)(yu)硅(gui)反應生成摻雜(za)(za)金屬而徙動進入(ru)硅(gui)。

       7. 熏蒸氣體(Sterilizing Gases) ：具(ju)有(you)殺菌(jun)作(zuo)用(yong)的(de)(de)氣(qi)(qi)體稱熏蒸(zheng)(zheng)氣(qi)(qi)體。常用(yong)的(de)(de)氣(qi)(qi)體品種有(you)環(huan)(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)(yi)烷(wan)(wan)(wan)、磷烷(wan)(wan)(wan)、溴甲烷(wan)(wan)(wan)、溴甲醛、環(huan)(huan)(huan)氧(yang)丙烷(wan)(wan)(wan)等(deng)(deng)。其滅菌(jun)原理是利用(yong)烷(wan)(wan)(wan)化(hua)作(zuo)用(yong), 使(shi)(shi)微(wei)生(sheng)物組織(zhi)內維持生(sheng)命不可(ke)缺(que)少的(de)(de)物質(zhi)惰化(hua)。最經常使(shi)(shi)用(yong)的(de)(de)是以不同比例配制的(de)(de)環(huan)(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)(yi)烷(wan)(wan)(wan)和(he)(he)二(er)氧(yang)化(hua)碳的(de)(de)混(hun)合氣(qi)(qi), 根據用(yong)途不同, 環(huan)(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)(yi)烷(wan)(wan)(wan)的(de)(de)含量(liang)可(ke)以是10%、20%和(he)(he)30%等(deng)(deng)。也可(ke)采用(yong)環(huan)(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)(yi)烷(wan)(wan)(wan)和(he)(he)氟利昂(ang)12的(de)(de)混(hun)合氣(qi)(qi),環(huan)(huan)(huan)氧(yang)乙(yi)(yi)烷(wan)(wan)(wan)與氟利昂(ang)11和(he)(he)氟利昂(ang)12的(de)(de)混(hun)合氣(qi)(qi)等(deng)(deng)。殺菌(jun)效果(guo)與各組分濃度、溫度、濕度、時間(jian)和(he)(he)壓(ya)力等(deng)(deng)因素有(you)關。熏蒸(zheng)(zheng)氣(qi)(qi)體可(ke)以用(yong)于衛生(sheng)材料(liao)(liao)、醫(yi)療(liao)器具(ju)、化(hua)妝(zhuang)品原料(liao)(liao)、動物飼料(liao)(liao)、糧食、紙(zhi)鈔、香(xiang)辣(la)

       8. 焊接保護氣體(Welding Gases)：氣(qi)體保護焊(han)由于具(ju)有焊(han)接質(zhi)量好, 效率高, 易實現自動化(hua)等優點(dian)而得以迅速發展。焊(han)接保護氣(qi)體可(ke)以是(shi)單元(yuan)氣(qi)體, 也有二元(yuan)、三元(yuan)混(hun)合(he)氣(qi)。采用焊(han)接保護氣(qi)的目(mu)的在于提高焊(han)縫質(zhi)量, 減少焊(han)縫加熱(re)作(zuo)用帶寬(kuan)度(du), 避(bi)免(mian)材質(zhi)氧(yang)(yang)化(hua)。單元(yuan)氣(qi)體有氬(ya)氣(qi)、二氧(yang)(yang)化(hua)碳(tan), 二元(yuan)混(hun)合(he)氣(qi)有氬(ya)和(he)氧(yang)(yang), 氬(ya)和(he)二氧(yang)(yang)化(hua)碳(tan), 氬(ya)和(he)氦(hai), 氬(ya)和(he)氫混(hun)合(he)氣(qi)。三元(yuan)混(hun)合(he)氣(qi)有氦(hai)、氬(ya)、二氧(yang)(yang)化(hua)碳(tan)混(hun)合(he)氣(qi)。應(ying)用中視焊(han)材不同(tong)選擇不同(tong)配比的焊(han)接混(hun)合(he)氣(qi)。

       9. 離子注入氣( Gases for IonImplantation)：離(li)子注(zhu)(zhu)(zhu)入(ru)(ru)是把離(li)子化的雜質(zhi), 例如P + 、B + 、As+加(jia)速到高能量(liang)狀態,然后注(zhu)(zhu)(zhu)入(ru)(ru)到預(yu)定的襯底(di)上(shang)。離(li)子注(zhu)(zhu)(zhu)入(ru)(ru)技術在控制Vth(閾值電壓) 方面應用得(de)最為廣泛(fan)。注(zhu)(zhu)(zhu)入(ru)(ru)的雜質(zhi)量(liang)可通過測量(liang)離(li)子束電流而(er)求得(de)。離(li)子注(zhu)(zhu)(zhu)入(ru)(ru)工(gong)藝所(suo)用氣(qi)(qi)體稱離(li)子注(zhu)(zhu)(zhu)入(ru)(ru)氣(qi)(qi), 有磷(lin)系、硼系和砷系氣(qi)(qi)體。

       10. 非液化氣體(Nonliquefied Gases)：壓縮氣(qi)(qi)(qi)體依(yi)據(ju)于(yu)一定壓力和(he)(he)(he)溫度(du)下(xia)(xia)在氣(qi)(qi)(qi)瓶(ping)中的物理狀(zhuang)態和(he)(he)(he)沸點范圍可以區(qu)分(fen)為兩大類, 即液(ye)化氣(qi)(qi)(qi)體和(he)(he)(he)非(fei)液(ye)化氣(qi)(qi)(qi)體。非(fei)液(ye)化氣(qi)(qi)(qi)體系指除溶解在溶液(ye)中的氣(qi)(qi)(qi)體之外, 在2111℃和(he)(he)(he)罐裝壓力下(xia)(xia)完(wan)全是(shi)氣(qi)(qi)(qi)態的氣(qi)(qi)(qi)體。也(ye)可定義為在正(zheng)常地面溫度(du)和(he)(he)(he)13789～17237kPa 壓力下(xia)(xia)不液(ye)化的氣(qi)(qi)(qi)體。

       11. 液化氣體( Liquefied Gases )：在2111℃和罐裝壓力下部分液化的氣體。或定義為在正常溫度和172142～17237kPa壓力下在氣瓶中液化的氣體。壓縮氣體(Compressed Gases)壓縮氣體是指在2111℃下, 在氣瓶中絕對壓力超過27518kPa的任何氣體或混合物; 或與2111℃下的壓力無關, 于5414℃下絕對壓力超過717kPa 的任何氣體或混合物; 或于3718℃下氣體絕對壓力超27518kPa的任何液體。

       12. 稀有氣體(Rare Gases)：元素周期表最后一族的六種惰性氣體中的任何一種氣體, 即氦、氖、氬、氪、氙、氡。前五種氣體均可以空氣分離方法從空氣中提取。

       13. 低壓液化氣體(Low Pressure Liquefied Gases) ：臨界溫度大于70℃的氣體。區分為不燃無毒和不燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 可燃無毒和可燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 易分解或聚合的可燃氣體。此類氣體在充裝時以及在允許的工作溫度下貯運和使用過程中均為液態。包括的氣體品種有一氟二氯甲烷、二氟氯甲烷、二氟二氯甲烷、二氟溴氯甲烷、三氟氯乙烷、四氟二氯乙烷、五氟氯乙烷、八氟環丁烷、六氟丙烯、氯、三氯化硼、光氣、氟化氫、溴化氫、二氧化硫、硫酰氟、二氧化氮、液壓石油氣、丙烷、環丙烷、丙烯、正丁烷、異丁烷、1- 丁烯、異丁烯、順- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氯乙烷、二甲醚、氨、乙胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、甲硫醇、硫化氫、氯甲烷、溴甲烷、砷烷、1, 3—丁二烯、氯乙烯、環氧乙烷、乙烯基甲醚、溴乙烯。

       14. 高壓液化氣體(High Pressure Liquefied Gases) ：臨界溫度大于或等于-10℃且小于或等于70℃的氣體。區分為不燃無毒和不燃有毒氣體; 可燃無毒和自燃有毒氣體; 易分解或聚合的可燃氣體。此類氣體充裝時為液態,但在允許的工作溫度下貯運和使用過程中其蒸汽壓隨溫度的升高而升高, 超過臨界溫度時蒸發為氣體。所包括的氣體品種有一氧化二氮、二氧化碳、三氟甲烷、三氟氯甲烷、三氟溴甲烷、六氟乙烷、六氟化硫、氙、氯化氫、乙烷、乙烯、1, 1- 二氟乙烯、硅烷、磷烷、氟乙烯、乙硼烷。