微量水分析儀主要分為三種類型
1、電解法五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個玻璃材質的圓柱和兩根并行的電極組成，根據具體應用來選擇電極材質（通常由鉑或銠金屬絲制成），并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4,在兩電極之間出現的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2.此過程的最終產物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質，因此從樣氣中吸收水分，通過連續的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經過儀器內部信號放大器處理，然后顯示并數據讀出。此原理用來測量所有氣體。包 括Cl2、HC l 、H2S、H2SO4 、HBr、SO2 、SF6 、CO2等氣體和全部惰性氣體，極少數會同磷酸發生化學反應的氣體除外。

P2O5探(tan)(tan)頭(tou)適用于(yu)(yu)測量各種惰性氣體、碳(tan)氫化合物或根據(ju)所選擇的探(tan)(tan)頭(tou)材(cai)質應用于(yu)(yu)HCl、Cl2或SO2等腐蝕性氣體中。探(tan)(tan)頭(tou)與樣氣接觸(chu)的材(cai)料可(ke)以(yi)是玻璃(li)、鉑或銠(lao)，其他(ta)材(cai)質也(ye)可(ke)以(yi)提(ti)供(gong)。

樣氣(qi)以(yi)(yi)特別的(de)(de)傳遞(di)方式流(liu)經(jing)探頭，再結(jie)合一(yi)個高質量的(de)(de)界面。從而確保探頭響應迅(xun)速(su)和受(shou)干擾影(ying)響最小，這些設計對于很低的(de)(de)ppm級測量十(shi)分(fen)重要。流(liu)經(jing)探頭的(de)(de)樣氣(qi)流(liu)速(su)通常設置在(zai) 20Nl/h（100Nl/h可選）。與分(fen)析儀(yi)的(de)(de)電氣(qi)連(lian)接器為(wei)防水(shui)密封結(jie)構(gou)。用戶可以(yi)(yi)十(shi)分(fen)容易的(de)(de)在(zai)五(wu)分(fen)鐘內完(wan)成探頭的(de)(de)再生工作。探頭可以(yi)(yi)通過3個M4螺絲十(shi)分(fen)容易的(de)(de)安裝在(zai)任(ren)何(he)地方。

優點：測(ce)試靈敏度高(gao)，適合非常微量的水/痕水測(ce)試，同時(shi)可以測(ce)量腐蝕性(xing)氣體。

缺點：傳感器需要定期重(zhong)涂(tu)。

2、阻容法(fa)（電容法(fa)）利(li)用(yong)一(yi)個(ge)高(gao)(gao)純鋁(lv)棒，表面(mian)氧化成一(yi)層(ceng)超薄(bo)的氧化鋁(lv)薄(bo)膜，其(qi)外鍍一(yi)層(ceng)多(duo)(duo)(duo)空的網(wang)狀(zhuang)金膜，金膜與鋁(lv)棒之間形成電容，由于(yu)(yu)氧化鋁(lv)薄(bo)膜的吸水特性(xing)，導致(zhi)電容值(zhi)隨樣(yang)氣水分的多(duo)(duo)(duo)少(shao)而(er)改變，測(ce)量該電容值(zhi)即可得(de)(de)到(dao)樣(yang)氣的濕(shi)度(du)。該方法(fa)的主(zhu)要(yao)優點(dian)是(shi)(shi)測(ce)量量程可更低(di)，甚至達-100℃，另一(yi)突出優點(dian)是(shi)(shi)響應速(su)度(du)非常快，從(cong)干到(dao)濕(shi)響應一(yi)分鐘可達90%,因而(er)多(duo)(duo)(duo)用(yong)于(yu)(yu)現場(chang)和快速(su)測(ce)量場(chang)合；缺點(dian)是(shi)(shi)精度(du)較差，不確定度(du)多(duo)(duo)(duo)為±2~3℃。但(dan)隨著各(ge)廠(chang)家的不斷努力，該方法(fa)正(zheng)在逐漸得(de)(de)到(dao)完善，例如，通(tong)過改變材料(liao)和提高(gao)(gao)工藝使得(de)(de)傳感器(qi)穩(wen)定度(du)大大提高(gao)(gao)，通(tong)過對傳感器(qi)響應曲線的補償作到(dao)了(le)(le)飽和線性(xing)，解決了(le)(le)自動校準問題。

優點：反映速度快。

缺(que)點：精度(du)較差。

3、冷鏡法讓樣(yang)(yang)氣(qi)(qi)流經露(lu)點冷(leng)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)室(shi)的(de)冷(leng)凝(ning)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)，通過等壓制冷(leng)，使得樣(yang)(yang)氣(qi)(qi)達到飽(bao)和結(jie)露(lu)狀態（冷(leng)凝(ning)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)上有液滴析(xi)出），測(ce)量冷(leng)凝(ning)鏡(jing)(jing)(jing)(jing)此時的(de)溫度即是樣(yang)(yang)氣(qi)(qi)的(de)露(lu)點。該(gai)方(fang)法的(de)主要(yao)優點是精度高(gao)，尤其在采(cai)用半導體制冷(leng)和光電檢(jian)(jian)測(ce)技(ji)術后，不確(que)定度甚(shen)至(zhi)可達0.1℃；缺(que)點是響應速度較(jiao)慢，尤其在露(lu)點-60℃以下，平衡時間甚(shen)至(zhi)達幾(ji)個小時，而且此方(fang)法對樣(yang)(yang)氣(qi)(qi)的(de)清潔(jie)性和腐(fu)蝕(shi)性要(yao)求也較(jiao)高(gao)，否則會影響光電檢(jian)(jian)測(ce)效果或產生(sheng)‘偽結(jie)露(lu)’造成測(ce)量誤差(cha)。

優點：精度高(gao)。

缺(que)點：響應速度慢。